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碳材料沉积炉化学气相沉积炉沉积炉

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    碳/碳材料CVD/CVI沉积炉设备简介:该设备主要用于碳/碳材料CVD/CVI涂层工艺,也适用于碳/碳化硅复合材料的化学气相沉积。

碳/碳材料CVD/CVI沉积炉设备组成:设备主要由炉体系统、电源系统、真空系统、过滤系统(尾气处理系统)、供气系统、加热保温系统、水冷系统等部分组成。能针对不同的副产品进行喷淋、冷凝捕集、尾气燃烧等处理,如高腐蚀性尾气(HCI等)、易燃性尾气(COH2)、固体粉尘尾气(碳粉等)、低熔点粘性产物(沥青、树脂等)等。



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